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上海芯上微装第500台步进光刻机交付

发布日期:2025-08-09 12:47点击次数:

2025年8月8日,上海芯上微装科技股份有限公司(简称“芯上微装”或“AMIES”)举办了第500台步进光刻机交付仪式,充分展现了AMIES作为国产步进光刻机领军企业的自主创新实力,标志着我国高端半导体装备产业迈上新的台阶。相关政府部门、战略客户、股东代表、行业协会、合作高校等领导共同出席了交付仪式。据介绍,先进封装光刻机是AMIES的拳头产品,具备高分辨率、高套刻精度、超大曝光视场等显著特点,具有强大的翘曲和厚胶处理能力,可根据客户的具体工艺需求灵活配置设备。

该类产品能够满足Flip-chip、Fan-in、Fan-out WLP/PLP、2.5D/3D等先进封装技术的要求,获得了市场的高度认可,目前全球市占率达到35%,国内市占率达到90%。

此次发运的“第500台步进光刻机”将交付给盛合晶微半导体(江阴)有限公司。盛合晶微是全球领先的集成电路晶圆级先进封测企业,致力于支持各类高性能芯片,尤其是图形处理器(GPU)、中央处理器(CPU)、人工智能(AI)芯片等,通过超越摩尔定律的异构集成方式,实现高算力、高带宽、低功耗等的全面性能提升。

近几年,盛合晶微不断加强自主创新,着力发展先进的3DIC加工和集成技术,实现跨越式发展,同时推动了先进集成电路制造产业链整体水平提升。AMIES在新闻稿中称,盛合晶微与AMIES拥有良好的合作基础,对AMIES的产品性能、技术实力和服务意识高度肯定,表示愿意进一步深化与AMIES的战略合作,共同推动先进封装技术创新和产业发展。AMIES强调,“站在新的起点,AMIES 将坚定不移地以客户需求为导向,以技术创新为核心,以产品质量为基石,持续深耕先进封装、IC前道、第三代半导体等领域,不断提升产品品质与服务效能,建设成为国内领先、具有国际竞争力的半导体高端装备企业。”根据资料显示,芯上微装成立于2025年02月08日,是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于为IC前道芯片制造、晶圆级/板级先进封装、化合物半导体和新型显示等应用领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备及解决方案。

公司技术团队约600人,平均年龄33岁,65%为硕士博士学历;拥有上海市劳动模范、上海市优秀技术带头人、上海市青年科技启明星计划、上海市产业菁英领军人才,以及浦东明珠计划人才/工程师等高层次人才十数人。那么为什么一家刚刚在今年2月就成立的国产半导体厂商就完成了第500台步进光刻机的交付呢?有业内信息显示,芯上微装似乎是国产光刻厂商上海微电子装备(集团)股份有限公司分拆出来的独立公司,拟募资独立IPO。

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